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氧氣供應：首先，醫用臭氧發生器需要純凈的氧氣作為原料。這通常通過氧氣瓶或氧氣發生器來提供。

氧氣壓縮：氧氣需要被壓縮到一定的高壓，以便在后續的電暈放電過程中更有效地轉化為臭氧。

電暈放電：在高壓電場的作用下，壓縮的氧氣通過電暈放電區域。在這個區域，氧氣分子（O2）受到高能電子的撞擊，導致分子分裂并重新組合，形成臭氧（O3）。這個過程可以用以下化學反應表示：

3O2→2O3

電暈放電通常在特殊的電極結構中進行，如平行板電極或介質阻擋放電（DBD）電極。

臭氧收集：生成的臭氧隨后被收集并輸送到需要的地方，如治療室或特定的治療設備中。

控制系統：整個過程由控制系統監控和調節，確保臭氧的產量和濃度符合醫療用途的要求。控制系統通常包括傳感器、微處理器和用戶界面，用于設定和調整臭氧的產生參數。

安全措施：醫用臭氧發生器還配備有多種安全措施，如壓力釋放閥、過流保護和緊急停止按鈕，以確保設備的安全運行。