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微波源：加速器通常使用微波源，如磁控管或速調管，產生高頻電磁波。這些電磁波的頻率通常在幾百兆赫茲到幾千兆赫茲之間。

微波加速腔：微波源產生的電磁波被引導至一個特殊的金屬結構——微波加速腔。加速腔內部的電磁場被設計成特定的模式，以確保電子在通過時能夠被加速。

電子槍：電子直線加速器中的電子槍負責產生電子束。電子槍通常由一個陰極和一個陽極組成，陰極被加熱以釋放電子，陽極則施加正電壓以吸引電子。

電子加速：當電子從電子槍釋放出來后，它們被引導進入微波加速腔。在加速腔中，電子受到微波電磁場的電場力作用，被加速至接近光速的高速度。

束流傳輸：加速后的電子束通過一系列磁鐵和電極被引導和聚焦，以確保它們沿著直線路徑前進，并保持束流的穩定性和均勻性。

靶材料：高能電子束被引導至一個重金屬靶（如鎢或鉛）上。當電子撞擊靶材料時，它們失去能量并轉化為x射線。

X射線產生：電子在撞擊靶材料的過程中，由于突然減速，根據電磁輻射理論，會產生高能光子，即X射線。這些X射線隨后被用來治療患者。

劑量控制：通過調整電子束的能量、強度和照射時間，可以精確控制X射線的劑量，以適應不同的治療需求。

治療頭：在治療頭部分，X射線被塑形和調制，以確保它們能夠精確地照射到腫瘤區域，同時保護周圍的健康組織。

監控系統：整個過程中，加速器配備有多個監控系統，包括束流位置、能量、劑量等參數的實時監控，以確保治療的精確性和安全性。